公开/公告号CN111379016A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-07
原文格式PDF
申请/专利权人 环球晶圆股份有限公司;
申请/专利号CN201911151325.9
申请日2019-11-21
分类号C30B15/16(20060101);C30B15/10(20060101);C30B29/06(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人王博
地址 中国台湾
入库时间 2023-12-17 09:38:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-31
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/16 申请日:20191121
实质审查的生效
2020-07-07
公开
公开
机译: 硅单晶拉晶设备及硅单晶拉晶方法
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