一种远距离变焦距激光诱导击穿光谱的检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种远距离变焦距激光诱导击穿光谱的检测方法及装置，其中：测距单元测定被测样品和所述聚焦与等离子体信号收集单元间对应的检测距离；等离子体激发单元输出激光诱导击穿光谱LIBS的激光；产生的等离子体信号再经聚焦与等离子体信号收集单元接收后，由聚焦与等离子体信号收集单元将接收的等离子体信号传递给所述分光与光电转换单元；分光与光电转换单元将传递来的等离子体信号按照不同波长分光，并转换为数字信号的光谱信息；光谱信息处理单元对所述光谱信息进行数据处理，得到被测样品元素成分的分析结果。上述方法及装置实现了不同检测距离下的激光诱导击穿光谱的修正与分析，大大提升了激光诱导击穿光谱技术的应用空间。