用于半导体计量的液态金属旋转阳极X射线源

摘要

本文中提出用于实现适用于高处理量x射线计量的高亮度、基于液体的x射线源的方法及系统。通过使用电子流轰击旋转液态金属阳极材料来产生x射线辐射以产生高亮度x射线源。旋转阳极支撑结构在按恒定角速度旋转时，将所述液态金属阳极材料支撑在相对于所述支撑结构的固定位置中。在另一方面中，平移致动器经耦合到旋转组合件，以在平行于旋转轴的方向上平移所述液态金属阳极。在另一方面中，输出窗经耦合到所述旋转阳极支撑结构。经发射x射线经透射穿过所述输出窗朝向所测量样品。在另一方面中，围阻窗独立于旋转角速度维持所述液态金属阳极材料的形状。