基于光波导多模成像的触觉传感器、系统及干扰检测方法

摘要

本发明公开一种基于光波导多模成像的触觉传感器，该触觉传感器包括衬底，以及布置在衬底上的输入光波导和多模干涉层；多模干涉层的折射率大于衬底的折射率；输入光波导的出射端与多模干涉层的入射端相连，多模干涉层作为触觉传感层，其入射端局部被刻蚀掉，形成多个镂空孔，构成散射扩束器结构。本发明的触觉传感器结构简单、成本低、尺寸小，灵敏度和空间分辨率高。并且通过分析输出图样的变化，可以实现触觉传感器上任意位置的分布式传感。