一种可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头及装置

摘要

本发明涉及一种可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头及装置，可以广泛的应用于特种膜、复杂成分膜类材料的生产和测试过程中。一种可对复合膜多种参数进行在线测量的测量头，包括空间信息检测模块和光谱信息检测模块；所述空间信息检测模块包括第一光源、第一光束收集装置和第一探测器；所述光谱信息检测模块包括红外光源、光束调整装置、波长筛选装置、分束装置、第二光束收集装置、第二探测器、第三光束收集装置、第三探测器；所述第一光源发出的光束斜射到涂层上后反射，第一光束收集装置收集反射的光束并将其投射在第一探测器上。本发明针对成分复杂的复合膜，可以实时、高精度地获取同一探测区域的多种参数信息。