计量级3D超景深显微系统及检测方法

摘要

本发明公开了一种计量级3D超景深显微系统及检测方法，涉及光电无损3D检测技术领域；该显微系统包括光学显微镜、光谱共焦传感器或白光干涉传感器、xyz轴电动位移平台以及控制模块和PC处理器；xyz轴电动位移平台包括xy轴平移台和z轴升降模块，光学显微镜配置有照明光源和图像采集单元，控制模块包括xyz电动控制单元、与光谱共焦传感器或白光干涉传感器连接的处理器及电源模块，图像采集单元用于采集目标检测区域的图像信息，并将图像信息传输至PC处理器；通过实施本技术方案，能够无损观察样品，并能够超大面积对材料表面的微观状态进行拍照、3D真彩色成像及3D精准测量，实现计量级的检测精度，并保有微观样品的细节与真实颜色，具有很好的应用前景。