刻蚀工艺用的挡片及防止挡片跳片的方法

摘要

本发明公开了一种刻蚀工艺用的挡片，包括晶圆衬底及其上的暖机膜层，所述晶圆衬底下具有一层防止跳片的绝缘膜层。本发明还公开了一种防止挡片跳片的方法，包括在所述挡片的晶圆衬底底部生长一层防止跳片的绝缘膜层。本发明具有以下优点：可以增加挡片的等效电阻，以此来削弱挡片在放电时的振动，由此可以有效减小跳片的几率；本发明增加绝缘膜层也增加了挡片的重量，可以减小振动的强度；另外绝缘层可反复使用，具有成本低的优点。