检测透明/半透明材料缺陷的方法、装置及系统

摘要

一种检测透明/半透明材料缺陷的方法，包括：根据预设的采样配置确定一个或一个以上的采样点位置；控制相干光光源(10)生成相干光光束照射采样点，所述相干光光束在检测时照射层状检材的采样点位置；通过感光元件(30)采集所述相干光光束照射检材后反射的光信号的干涉图像信息；根据所述干涉图像信息计算所述采样点位置对应的材料厚度信息，根据材料厚度信息确定所述层状检材的缺陷。此外，还公开了一种利用上述方法检测透明/半透明材料缺陷的装置和一种利用上述方法检测透明/半透明材料缺陷的检测系统。可提高透明/半透明层状材料厚度缺陷检测的准确性。