法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C01F7/30 申请日:20200227
实质审查的生效
2020-06-23
公开
公开
机译: 有机改性金属氧化物纳米颗粒,有机改性金属氧化物纳米颗粒的溶液,有机改性金属氧化物纳米颗粒的抗蚀剂组合物,抗蚀剂图案形成方法
机译: 有机改性金属氧化物纳米颗粒,有机改性金属氧化物纳米颗粒的溶液,有机改性金属氧化物纳米颗粒的抗蚀剂组合物,抗蚀剂图案形成方法
机译: 制备金属氧化物纳米颗粒的方法,金属氧化物纳米颗粒和包含组合物的金属氧化物纳米颗粒