一种生成用于测量共相误差的数字式色散条纹的装置及方法

摘要

本发明公开了一种生成用于测量共相误差的数字式色散条纹的装置及方法，该装置由拼接式光学系统(1)、准直透镜(2)、可调谐滤光片(3)、掩模模板(4)、微透镜阵列(5)、探测器(6)及计算机(7)组成。利用该装置，连续线性地改变可调谐滤光片的透射波长，并依次存储探测器上的光斑阵列。该方法包括：首先，从每幅光斑阵列中截取对应拼缝的光斑；然后，将对应该拼缝的所有截取光斑沿平行于拼缝的方向累加，得到一维光强分布；最后，将获得的全部一维光强分布按照对应调谐波长的大小顺序，依序并排堆叠，即可获得数字式色散条纹。本发明公开装置及方法避免了对色散元件的依赖，克服了条纹串扰问题，可一次性测量全部拼缝对应共相误差，效率高，操作便捷，创新性强。