一种仿生毛状气流流速传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种仿生毛状气流流速传感器及其制备方法，所述传感器包括：依次设置的柔性基底薄膜、柔弹性聚合物薄膜、导电薄膜、微/纳米棒阵列；所述微/纳米棒阵列中的微/纳米棒的弹性模量大于所述柔弹性聚合物薄膜的弹性模量。由于在气流形成的外力作用下，微/纳米棒发生摆动，导电薄膜会发生形变，从而影响传感器整体电阻，根据电阻变化得到气流的流速。采用微/纳米棒阵列可以检测到较小的气流，从而提高了气流流速测量的精度。