一种多电子束中心送丝的电子束加工系统

摘要

本发明公开了一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，涉及电子束加工领域包括：电子枪：用于产生、加速及会聚高能量密度电子束流的装置，它发射出具有一定能量、一定束流以及速度和角度的电子束；旋转电机：用于改变电子枪的角度，从而改变电子束的照射在工件上的角度，用于调节工作状态。本发明通过设置的扩散泵、机械泵、排气口以及沉积膜，在电子束融化工件以及丝料时，部分金属会汽化，此时首先启动机械泵将工作室内抽为真空随后通过加热器加热扩散泵内的油液，使油液产生高速的蒸汽穿过真空抽气口将真空室中的产生的金属气体抽出并从排出口将金属气体排出，有效解决了的金属蒸汽无法回收问题。