一种混和式投影物镜、投影曝光设备及成像系统

摘要

本发明涉及一种混和式投影物镜、投影曝光设备及成像系统，混和式投影物镜包括：设置于物面及像面之间的第一反射镜及第二反射镜，在物面与第二反射镜之间还依序设置有孔径光阑、二次成像补偿衍射元件及视场光阑。本发明的有益效果是，本发明的成像视场范围更大，数值孔径更高，分辨率更高，并且本发明中的光线在反射镜上的入射角度更小，反射率由于入射角的变化收到的影响更小，从而光学系统在整个成像的孔径内容易实现更加均匀的光瞳切趾，此外本发明中光阑不是设置在反射镜球心上面，而是在物面和衍射元件之间的适当位置设置一个孔径光阑，使得成像系统的光路满足像面远心光路的要求。