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一种HCL电子气体的反应性超声精馏提纯方法

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本发明涉及高纯气体提纯领域，具体关于一种HCL电子气体的反应性超声精馏提纯方法；本发明的一种HCL电子气体的反应性超声精馏提纯方法，本发明在含微量水的液化液化HCL中分别加入少量氯化亚砜，通过精馏去除、或氯化亚砜与水分反应生成的CO

著录项

公开/公告号CN111115579A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-08

原文格式PDF
申请/专利权人浙江博瑞电子科技有限公司;
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申请/专利号CN202010028865.4
发明设计人叶向荣;陈刚;李军;夏添;张广第;张晓东;
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申请日2020-01-12
分类号
代理机构
代理人
地址 324000 浙江省衢州市柯城区东南时代3幢839室
入库时间 2023-12-17 08:38:41

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-02

实质审查的生效 IPC(主分类):C01B7/07 申请日:20200112

实质审查的生效
2020-05-08

公开

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