首页> 中国专利> 薄片试样制作装置以及薄片试样制作方法

薄片试样制作装置以及薄片试样制作方法

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

薄片试样制作装置(1)具备会聚离子束照射光学系统(14)、载台(12)、载台驱动机构(13)以及计算机(22)。会聚离子束照射光学系统(14)照射会聚离子束(FIB)。载台(12)保持试样片(Q)。载台驱动机构(13)驱动载台(12)。计算机(22)在试样片(Q)中设定作为加工区域的薄片化区域和包围薄片化区域的整周的周缘部。计算机(22)使得从与试样片(Q)的被照射面交叉的方向照射会聚离子束(FIB)，通过蚀刻加工将薄片化区域的厚度形成得比周缘部的厚度薄。

著录项

公开/公告号CN111065907A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-24

原文格式PDF
申请/专利权人日本株式会社日立高新技术科学;
展开▼

申请/专利号CN201980004416.1
发明设计人中谷郁子;
展开▼

申请日2019-02-28
分类号G01N1/28(20060101);G01N1/32(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人崔成哲;黄纶伟
地址日本东京都
入库时间 2023-12-17 08:30:07

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-04-24

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 薄片试样制作装置以及薄片试样制作方法 [P] . 中国专利： CN111065907A . 2020-04-24
2. X射线荧光分析装置用的试样夹持器、试样夹持器制作夹具和X射线荧光分析装置用的试样制作方法 [P] . 中国专利： CN109642881A . 2019-04-16
3. Embedded block humidifier, automatic thin slice manufacturing device, and automatic thin slice specimen manufacturing apparatus [P] . 美国专利： US8110146B2 . 2012-02-07

机译：嵌入式块加湿器，自动薄片制造装置以及自动薄片试样制造装置
4. Automatic slicing apparatus, automatic thin section sample preparation device and automatic slicing method [P] . 日本专利： JP4666504B2 . 2011-04-06

机译：自动切片装置，自动薄片试样制备装置及自动切片方法
5. Device for manually producing thin-section for sample during microscopic examination, has object holder resembling as computer mouse, and hand grip or handle movably mounted with body stop [P] . 德国专利： DE102009041082A1 . 2011-04-21

机译：用于在显微镜检查过程中手动产生用于试样的薄片的装置，其具有类似于计算机鼠标的对象保持器，并且手柄或手柄可移动地安装有身体挡块