法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-07
实质审查的生效 IPC(主分类):A61B7/04 申请日:20200221
实质审查的生效
2020-06-12
公开
公开
机译: 光学邻近校正方法,光学邻近校正设备和光学邻近校正程序,半导体器件的制造方法,设计规则制定方法和光学邻近校正条件计算方法
机译: 光学邻近校正方法,光学邻近效果校正设备,光学邻近校正程序,半导体器件的制造方法,图案设计约束条件制定方法和光学邻近校正条件计算方法
机译: 基于邻近其他计算机设备的计算机设备通知的调整技术