长程面形检测仪及检测方法

摘要

本发明涉及一种长程面形检测仪及检测方法，检测仪包括光源、分束镜、构成等效五棱镜的双反射镜单元、傅里叶变换透镜和面阵探测器；光源出射光束经分束镜、双反射镜单元至待测光学器件表面，被反射后经双反射镜单元、分束镜、傅里叶变换透镜至面阵探测器，形成测量光斑；双反射镜单元包括两个平面反射镜，两个平面反射镜分别可沿各自的回转轴独立转动，两回转轴位于同一平面上且夹角为45°，平面反射镜与其回转轴呈斜交且所成的角按量程所需设置以通过转动改变经双反射镜单元反射后出射光路的角度并使出射光路以法线入射的形式入射到待测光学器件表面；待测光学器件的表面面形通过可两个平面反射镜的转动量获取，从而提高检测精度。