振动对长程面形仪静态稳定性的影响

摘要

研究了振动对新型长程面型仪(Long Tmce Profiler,LTP)静态稳定性的影响.根据新型长程面形仪的光学结构建立模型.分析了LTP对环境振动的响应,证明了仅垂直方向振动会导致LTP测量误差.接着采用频率和强度可控的振动发生源,通过对比实验测量振动对LTP静态稳定性的实际影响,实验结果与理论分析相符,证明了仅垂直方向一定频率范围内的振动会影响LTP的静态稳定性.