具有限位功能的活动式多轴向连杆装置

摘要

本发明提供具有限位功能的活动式多轴向连杆装置，包括连杆驱动夹持模组以及用于固定连杆驱动夹持模组的固定框架，连杆驱动夹持模组包括连杆驱动组件以及与连杆驱动组件相连的夹持组件，固定框架包括主立板、对称固定在主立板竖直两边的两个侧连接板以及与两个侧连接板另一端固定连接的对向立板，主立板与对向立板相对设置，主立板背向对向立板的一面的上下两侧分别固定有顶部盖板以及底部盖板。本发明能够将晶圆进行稳定的夹持托举，方便进行托篮交换，同时托举夹持的方式能够降低对晶圆的损坏，以解决现有的晶圆在交换托篮时容易损坏，同时交换效率较低的问题。