光束质量测量装置及远场光束质量因子计算方法

摘要

本发明属于高能激光光束质量测量领域，涉及一种光束质量测量装置及远场光束质量因子计算方法，克服传统的光束质量测量装置体积大，集成度低、使用繁琐等问题以及计算远场光束质量因子β的方法准确性不高的问题。整个测量装置光路由缩束器，分光镜，会聚镜，近场相机和远场相机组成，缩束器实现对大口径入射光束的缩束；分光镜用来对缩束后的光束进行分光，一路分给近场测试光路，通过连接近场相机进行近场波面测试，一路分给远场光路，通过会聚镜会聚后进入到远场相机实现远场光束质量测量。基于衍射环的远场光束质量因子β的计算方法，摒弃了传统的背景滤除和信号提取方法，具有计算速度快，数据稳定性高，抗噪声能力强的特点。