首页> 中国专利> 参数设置方法及参数设置系统

参数设置方法及参数设置系统

摘要

本发明提供一种参数设置方法及参数设置系统,所述参数设置方法包括:采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值;在工艺每经过N次循环之后,对自当前循环次数算起,前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算,至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据;判断所述第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围;若判断结果为是,则将所述第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的所述指定参数,作为工艺下一次循环时的所述指定参数的数值;其中,M≤N,且M和N均为大于1的整数。通过本发明提高了产能以及工艺效果。

著录项

  • 公开/公告号CN111062582A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-04-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN201911178829.X

  • 发明设计人 姜英伟;

    申请日2019-11-27

  • 分类号

  • 代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人彭瑞欣

  • 地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

  • 入库时间 2023-12-17 08:13:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q10/06 申请日:20191127

    实质审查的生效

  • 2020-04-24

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号