公开/公告号CN111136572A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第十三研究所;
申请/专利号CN201911284212.6
申请日2019-12-13
分类号B24B37/04(20120101);B24B37/10(20120101);B24B37/30(20120101);B24B37/34(20120101);H01L21/48(20060101);H01L21/60(20060101);
代理机构13120 石家庄国为知识产权事务所;
代理人田甜
地址 050051 河北省石家庄市合作路113号
入库时间 2023-12-17 08:08:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-05
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B37/04 申请日:20191213
实质审查的生效
2020-05-12
公开
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