用于测量和调节加工头和工件之间的距离的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于测量、调整和/或调节加工头、尤其激光加工头(10)与工件(14)之间的距离的方法和装置，具有：测量光源；将测量光源的光分成测量光射束(28)和参考光射束的分束器(20)；参考光束穿过的参考臂(22)；用于将测量光射束(28)耦入到加工射束光路中的光学系统，所述加工射束光路包括用于将光聚焦到工件表面上的聚焦透镜(38)；用于将在工件表面上反射的测量光射束(28)与从参考臂(22)的反射回的参考光射束叠加的光学装置；以及测量单元和分析评价单元(16)，其构造为用于分析评价包含在叠加后的测量和参考光射束中的关于测量臂和参考臂之间的路程差的信息，以得到关于加工头(10)和工件(14)之间的距离的信息并产生相应的距离信号或执行信号。在加工工件(14)之前和/或期间，距离信号或执行信号作为控制信号或调节信号被导送给控制电路，控制电路安排加工头(10)沿加工射束(20)的方向移动，使得在加工之前调整加工头(10)与工件(14)之间的应有距离或在加工期间减小应有距离与实际距离之间的差。