基于Parylene-C的癌症标志物蛋白生物传感器及相关方法

摘要

一种太赫兹超材料癌症标志物蛋白传感器的制备方法，包括以下步骤：步骤1、在硅衬底上生长派瑞林C型薄膜作为柔性衬底；步骤2、将步骤1得到的产品清洗干净，在其上旋涂光刻胶并烘干；步骤3、用设计好的超材料掩模版对光刻胶进行曝光，并显影，得到光刻胶掩模；步骤4、用热蒸发方法在步骤3得到的产品上生长黏附层和金膜；步骤5、将步骤4得到的产品放入丙酮浸泡剥离，形成所需要的超材料金结构；步骤6、在去离子水中分离柔性衬底和硅衬底。本发明由于采用低折射率的超薄衬底，提高了灵敏度，减少了信号损失。并且从修饰方法上利用了Parylene‑C膜的吸附能力简化了修饰测试流程，减少测试数据，提高了传感器灵敏度。