一种临近空间气压条件下高效射频等离子体放电装置

摘要

本发明公开了一种临近空间气压条件下高效射频等离子体放电装置，包括石英管、一号螺旋电感天线、二号螺旋电感天线、阻抗匹配器和等离子体源，石英管的两端开口，石英管的一端与气源相接，石英管的另一端与真空泵相接，所述等离子体源与阻抗匹配器相连，阻抗匹配器设置于一号螺旋电感天线和二号螺旋电感天线相连的电路上，在阻抗匹配器与一号螺旋电感天线之间的电路上设有示波器；一号螺旋电感天线和二号螺旋电感天线分别以感性耦合方式螺旋缠绕在石英管上，所述一号螺旋电感天线和二号螺旋电感天线之间以容性耦合方式阻断，形成等离子体射流。本发明所述射频等离子体放电装置，在现有电源参数水平条件下，该天线可在0‑2500Pa稳定放电，电离效率高。