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公开/公告号CN110828670A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-21
原文格式PDF
申请/专利权人 华南理工大学;
申请/专利号CN201911189669.9
发明设计人 马东阁;虢德超;杨德志;唐本忠;徐增;
申请日2019-11-28
分类号H01L51/42(20060101);H01L51/46(20060101);H01L51/48(20060101);
代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人罗啸秋
地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号
入库时间 2023-12-17 07:47:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/42 申请日:20191128
实质审查的生效
2020-02-21
公开
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