一种金属箔带卷绕式真空镀膜连续生产线

摘要

一种金属箔带卷绕式真空镀膜连续生产线，包括镀膜室，分前后两段，前后段各腔室的一侧面对应都开了窗口，对应于各窗口的机架一侧，各设有垂直于机架的轨道；前段置平面矩形阴极电弧源装置，包括靶材和移动小车，靶材固定在移动小车立面板上且位于支承抽屉盒内；移动小车行走在垂直轨道上、上面设有由框架和立面板组成的密封门托架，立面板朝向窗口方向的面为密封面与窗口的窗框对应密封设计，立面板上固定着伸向窗口的槽型的支承抽屉；后段置旋转柱状中频磁控贱射靶装置，包括溅射靶和移动小车组件，溅射靶固定在立面板上且位于支承抽屉盒内；通过移动小车使靶材和溅射靶分别推入或拉出各腔室。本发明镀膜镀层颜色均匀稳定且工艺过程可靠。