提高Ge-As-Se硫系玻璃光学表面质量的化学机械加工方法

摘要

本发明公开了一种提高Ge‑As‑Se硫系玻璃光学表面质量的化学机械加工方法，其包括以下步骤：第一步：研磨，研磨包括粗磨和精磨，通过粗磨对硫系玻璃光学表面进行初成形和面形修整，以达到指标要求；精磨采用化学机械研磨方法，进一步修整光学表面面形并降低表面粗糙度；第二步：抛光，抛光包括粗抛和精抛，通过粗抛对精磨面进行逐道抛光；精抛采用化学机械抛光方法，得到最终符合要求的硫系玻璃光学表面面形。本发明通过将粗磨、精磨、粗抛、精抛有序的结合起来，显著提高了硫系玻璃光学表面的加工效率和表面质量。