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用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法

摘要

提供了用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法。本公开的实施例提供了分散装置,分散装置包括被配置为诱导束色散的静电偏转器和磁性偏转器,束色散被设置以消除由分束器生成的色散。静电偏转器和磁性偏转器的组合可以用于在所诱导的束色散被改变以补偿由分束器生成的色散变化时,将由于分散装置引起的偏转角保持不变。在一些实施例中,由于分散装置而引起的偏转角可以被控制为零,并且没有由于分散装置而引起的初级束轴变化。

著录项

  • 公开/公告号CN110945621A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-03-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;

    申请/专利号CN201880048462.7

  • 申请日2018-07-12

  • 分类号

  • 代理机构北京市金杜律师事务所;

  • 代理人王茂华

  • 地址 荷兰维德霍温

  • 入库时间 2023-12-17 07:38:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/05 申请日:20180712

    实质审查的生效

  • 2020-03-31

    公开

    公开

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