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公开/公告号CN110945621A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-31
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201880048462.7
发明设计人 任伟明;刘学东;胡学让;罗希楠;陈仲玮;
申请日2018-07-12
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-12-17 07:38:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/05 申请日:20180712
实质审查的生效
2020-03-31
公开
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