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公开/公告号CN110931577A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海技术物理研究所;
申请/专利号CN201911093633.0
发明设计人 胡伟达;葛浩楠;王鹏;王芳;古悦;李庆;陈效双;陆卫;
申请日2019-11-11
分类号H01L31/0236(20060101);H01L31/103(20060101);
代理机构31311 上海沪慧律师事务所;
代理人郭英
地址 200083 上海市虹口区玉田路500号
入库时间 2023-12-17 07:34:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0236 申请日:20191111
实质审查的生效
2020-03-27
公开
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