一种提高高反射光学元件缺陷检测分辨率的方法

摘要

本发明提供了一种提高高反射光学元件缺陷检测分辨率的方法，该方法包括：采用光腔衰荡技术获取高反射光学元件的反射率分布测量图；通过改进的反卷积算法对反射率分布测量图进行反卷积复原，消除光斑尺寸的影响，得到高反射光学元件的反射率分布的高分辨率真实值，从而更准确地检测缺陷。该方法与传统的光腔衰荡光学元件缺陷检测技术相比，采用反卷积方法对反射率分布图进行恢复，最终得到分辨率更高的光学元件反射率分布真实值结果，提高了检测精度。