公开/公告号CN110826257A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-21
原文格式PDF
申请/专利权人 泰州光丽光电科技有限公司;
申请/专利号CN201911222088.0
申请日2019-12-03
分类号
代理机构北京中政联科专利代理事务所(普通合伙);
代理人秦佩
地址 225300 江苏省泰州市医药高新技术产业开发区振兴路北侧、吴陵南路西侧(光电产业园14号标准厂房)
入库时间 2023-12-17 07:25:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F30/20 申请日:20191203
实质审查的生效
2020-02-21
公开
公开
机译: 用于真空镀膜系统中的真空处理基材的装置以及包括该装置的真空镀膜系统
机译: 真空镀膜系统和用于操作真空镀膜系统的方法
机译: 向真空镀膜系统中的旋转磁控管馈送气体,包括在真空镀膜系统的纵向延伸方向上横向于旋转磁控管的轴向延伸的,过去的引导基底到达旋转磁控管