自由电子激光装置的加速器腔体装置组装工装及方法

摘要

本发明公开了一种自由电子激光装置的加速器腔体装置组装工装及方法，该工装包括上游腔调整支架、下游腔调整支架和旋转调整支架。该方法包括通过上游腔调整支架和下游腔调整支架能够对加速器腔体装置的节腔体在X、Y、Z方向上进行粗调和在Y方向和Z方向上进行微调，从而使节腔体的满足水平方向和高度方向的安装精度要求；通过旋转微调支架调整加速器腔体装置的节腔体的角度位置，从而使节腔体的满足角度位置的安装精度要求。本发明能够在超净间内组装时达到安装精度的要求。