一种微量物相定量分析方法

摘要

本发明属于物相定量分析技术领域，具体涉及一种微量物相定量分析方法，包括：步骤一：样品制备和镀碳：步骤二：安放样品；步骤三：设定分析条件；步骤四：建立标样组；步骤五：选择测量区域：步骤六：数据采集，按照步骤三设定的测量参数和步骤五确定的测量区域进行X射线能谱谱图采集；步骤七：谱图相似度设定；步骤八：数据处理。本发明基于扫描电镜和X射线能谱仪进行物相定量分析，尤其适用于微量物相的定量分析，从而弥补传统物相定量分析无法定量微量物相的技术缺陷。