用于测量气体通量的系统和测量气体通量的方法

摘要

本公开涉及用于测量气体通量的系统和测量气体通量的方法。该系统包括：发射激光的激光器；容纳包括待测气体和参考气体的混合气体的吸收池，并且激光穿过吸收池；耦接到激光器并且提供驱动信号的驱动电路，以便对激光器发射的波长进行扫描和调制，并且待测气体和参考气体在波长的扫描范围内各自具有特征吸收峰；接收透射通过吸收池的激光并且转换为电信号的探测器；以及信号处理电路，接收电信号并提取待测气体的吸收光谱和参考气体的吸收光谱，根据所提取的吸收光谱来分别计算待测气体的浓度和参考气体的浓度，以及根据所计算的浓度来计算待测气体的通量，其中，该系统还根据参考气体的吸收光谱来校准由激光器发射的波长。