输送单元及同时装载平行间隔一水平距离的处理管的方法

摘要

本发明提供一种输送单元及同时装载间隔水平距离的处理管的方法。输送单元具有沿用于移入或移出衬底载体的方向的第一方向直线延伸的水平导引装置、以可以在第一方向上沿水平导引装置运动的方式受到导引的竖直导引装置、以可以沿竖直导引装置上下运动的方式受到导引的叉件载体及两个附装在叉件载体上且可以借助叉件载体沿竖直导引装置运动的长条形叉形元件，其中每个叉形元件均沿第一方向延伸并适于容置一个衬底载体，且其中叉形元件附装在叉件载体上，使得叉形元件可以沿垂直于第一方向的第二方向水平运动，及用于可控地引起竖直导引装置沿水平导引装置的运动、叉件载体沿竖直导引装置的运动以及叉形元件沿第二方向的运动的驱动元件。