基于图像的基板映射器

摘要

本文提供用于检测基板中的翘曲的方法和设备。在一些实施例中，一种用于检测基板中的翘曲的翘曲检测器包括：一个或多个光源，所述一个或多个光源在存在时照射一个或多个基板；相机，所述相机用于在存在时捕捉一个或多个基板的暴露部分的图像；运动组件，所述运动组件具有用于支撑相机的安装台；和数据采集接口(DAI)，所述数据采集接口耦接至相机以处理基板图像并且基于经处理的基板图像来检测基板的翘曲。