电力转换单元、等离子体处理设备和控制多个等离子体处理的方法

摘要

一种电力转换单元(1，1’)，其中，所述电力转换单元(1，1’)能够将输入电力转换为双极性的输出电力并将此输出电力输送到至少两个独立的等离子体处理室(9a、9b、…9n)，所述单元(1，1’)包括：一个电力输入端口(2)，其用于连接到电力输送网(7)，至少两个、优选是多于两个的电力输出端口(3a、3b、…3n)，每个电力输出端口(3a、3b、…3n)用于连接到等离子体处理室(9a、9b、…9n)之一，控制装置(4)，其被配置为能够以如下方式控制所述单元(1，1’)将双极性的输出电力输送到电力输出端口(3a、3b、…3n)：使用控制参数，通过获得针对输出端口(3a、3b、…3n)的参数的期望值的全集，计算电力转换单元(1，1’)是否能够将每个期望的参数输送到输出端口(3a、3b、…3n)中的每个，如果是，则计算输送到输出端口(3a、3b、…3n)的电力的脉冲的序列，以为等离子体处理提供电力，其中，控制参数为以下项中的至少一个的控制参数：功率、电压、电流、激励频率或用于保护装置的阈值。