从低分辨率图像产生高分辨率图像以用于半导体应用

摘要

本发明提供了用于从样本的低分辨率图像产生所述样本的高分辨率图像的方法和系统。一个系统包含经配置以用于获取样本的低分辨率图像的一或多个计算机子系统。所述系统还包含通过所述一或多个计算机子系统执行的一或多个组件。所述一或多个组件包含深度卷积神经网络，所述深度卷积神经网络包含经配置以用于产生所述低分辨率图像的表示的一或多个第一层。所述深度卷积神经网络还包含经配置以用于从所述低分辨率图像的所述表示产生所述样本的高分辨率图像的一或多个第二层。所述第二层包含经配置以输出所述高分辨率图像并且经配置为子像素卷积层的最终层。