用于处置具有缓冲腔室的处理系统中的基板的方法和装置

摘要

本文描述的实现方式一般地涉及用于处理系统中处理基板的方法和装置。所述方法包括：在耦接至处理系统的传送腔室的缓冲腔室中，识别已在缓冲腔室中长于预定持续时间的第一基板；并且识别对于第一基板的处理系统的第一目标腔室。在识别第一基板之后，执行缓冲腔室超时操作。缓冲超时操作包括暂停基板从负载锁定腔室至缓冲腔室的移动，并且从缓冲腔室移除第一基板。