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用于积层制造的以旋转多边形及多光束在相同路径上进行的能量传递

摘要

一种积层制造设备,包含:平台;分配器,用于输送多个进料层;一或更多个光源,被配置为发射第一光束与第二光束;以及多边形束扫描器,包含可旋转镜,可旋转镜具有多个反射面以将第一光束与第二光束重定向为朝向平台,以传递能量至进料最上层。镜被定位并能被旋转而使得多个反射面中的每一面的运动使第一光束在最上层上沿着第一路径扫描,并使第二光束跟随第一光束沿着第一路径扫描。

著录项

  • 公开/公告号CN110678310A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN201880034854.8

  • 申请日2018-05-24

  • 分类号

  • 代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐金国

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2023-12-17 07:00:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):B29C64/264 申请日:20180524

    实质审查的生效

  • 2020-01-10

    公开

    公开

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