一种多晶硅渣浆无水化处理工艺

摘要

本发明涉及一种多晶硅渣浆无水化处理工艺，包括以下步骤：⑴来自上游的多晶硅渣浆经固液气分离，得到液体和气体A及固体A；液体和气体A处理后收集得到液体A；⑵固体A经蒸汽加热搅拌，得到干燥后的固体产物以及以气体方式存在的四氯化硅和部分三氯氢硅；以气体方式存在的四氯化硅和部分三氯氢硅经处理后收集得到液体B；⑶干燥后的固体产物经热解炉加热，得到固体废物和气态形式的高沸物；气态形式的高沸物经催化裂解得到气体B和液体C；⑷固体废物依次通过锁气罐、冷却螺旋、固体料仓排放到包装和外送单元；⑸液体A、B、C和气体B经分离后，得到四氯化硅和三氯氢硅产品以及剩余的高沸物和部分固体B。本发明利用效率高，且实现无水化。