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公开/公告号CN110752176A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-04
原文格式PDF
申请/专利权人 东和株式会社;
申请/专利号CN201910625588.2
发明设计人 片冈昌一;深井元树;今井一郎;
申请日2019-07-11
分类号
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人马爽
地址 日本京都府京都市南区上鸟羽上调子町5番地(邮编:601-8105)
入库时间 2023-12-17 06:34:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20190711
实质审查的生效
2020-02-04
公开
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