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公开/公告号CN110660702A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-07
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201910567654.5
发明设计人 林资程;汪青蓉;左克伟;王咏生;彭旸尹;
申请日2019-06-27
分类号
代理机构南京正联知识产权代理有限公司;
代理人顾伯兴
地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
入库时间 2023-12-17 06:21:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20190627
实质审查的生效
2020-01-07
公开
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