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曲面光学薄膜元件反射率测量方法

摘要

本发明属光学薄膜元件参数测量领域,尤其涉及一种曲面光学薄膜元件反射率测量方法,按如下步骤实施:a、开启恒流光源,测试参数设置;b、进行标准标定;c、恒流光源发出的光经过聚焦后进入光纤接收端;经过光纤透镜后形成出射平行光,平行光进入光学积分器,并按照某一角度入射到待测试曲面光学薄膜元件表面,光线经过镜面反射后进入光学积分器,通过光学积分器匀光后经光学积分器出射口进入接收光纤,再进入CCD探测器并由计算机进行处理最终获得光谱反射数据。本发明可解决角度不同光线难以全部收集问题,反射率测试准确,可保证测试不同曲率半径。

著录项

  • 公开/公告号CN110646169A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 沈阳仪表科学研究院有限公司;

    申请/专利号CN201911028735.4

  • 申请日2019-10-28

  • 分类号G01M11/02(20060101);G01N21/55(20140101);

  • 代理机构21107 沈阳亚泰专利商标代理有限公司;

  • 代理人郭元艺

  • 地址 110043 辽宁省沈阳市大东区北海街242号

  • 入库时间 2023-12-17 06:17:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20191028

    实质审查的生效

  • 2020-01-03

    公开

    公开

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