一种纳米材料的集成式原位表征方法

摘要

本发明公开了一种纳米材料的集成式原位表征方法，将扫描探针显微镜、石英晶体微天平和光学测量系统集成为一个测试系统，可实现在同一纳米颗粒上或同一局域范围内对纳米材料的表面形貌、光学性质和电学性质的表征，并且能够实时监测纳米材料的微小质量变化。该方法将多种微观测试手段集成于一个系统，能够增强测试结果的准确性和可比性，有效解决目前纳米材料表征过程中多参数的原位定点实时检测的难题，为深入理解纳米材料的特性提供直接的技术手段。