公开/公告号CN110761289A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-07
原文格式PDF
申请/专利权人 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司;
申请/专利号CN201911033310.2
发明设计人 程鹏;
申请日2019-10-28
分类号E02D15/06(20060101);
代理机构
代理人
地址 221300 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河西路88号
入库时间 2023-12-17 06:13:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-03
实质审查的生效 IPC(主分类):E02D15/06 申请日:20191028
实质审查的生效
2020-02-07
公开
公开
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