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一种铜材料表面的电化学抛光方法

摘要

本发明涉及一种铜材料表面的电化学抛光方法,包括如下步骤:配制抛光溶液;将待抛光铜材料浸入抛光溶液中,开通电源进行抛光;其中,配制抛光溶液包括:根据要配制溶液的总体积计算各溶质的用量,溶质包括磷酸、丙三醇、硫脲和聚氧乙烯烷醇酰胺;根据计算结果,称取磷酸、丙三醇导入耐腐蚀容器中,加水至达到所述总体积,搅拌溶解得到第一中间溶液;根据计算结果,称取硫脲并加入到第一中间溶液中,搅拌溶解得到第二中间溶液;根据计算结果,量取聚氧乙烯烷醇酰胺并加入到第二中间溶液中,搅拌均匀得到抛光溶液。本发明能使铜精密零件的表面粗糙度从Ra0.4μm提高至Ra0.2μm,以满足真空电子器件使用要求。

著录项

  • 公开/公告号CN110846710A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-02-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京三乐集团有限公司;

    申请/专利号CN201911187583.2

  • 申请日2019-11-27

  • 分类号

  • 代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人李琼

  • 地址 210000 江苏省南京市浦口区浦口经济开发区光明路5号

  • 入库时间 2023-12-17 06:13:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C25F3/22 申请日:20191127

    实质审查的生效

  • 2020-02-28

    公开

    公开

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