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吸附式空气干燥系统及其工作方法

摘要

本发明提供一种吸附式空气干燥装置,包括第一吸附塔和第二吸附塔,所述第一吸附塔内和第二吸附塔内设有吸附剂,所述第一吸附塔上端通过并联的第一支路和第二支路与所述第二吸附塔上端相连,在所述第一支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一排气止回阀和第二排气止回阀,所述第一排气止回阀和所述第二排气止回阀之间设有干空气出口;在所述第二支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀;所述第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀之间连接有加热器,所述加热器依次连接干式真空机和过滤器。本发明还提供所述吸附式空气干燥装置的工作方法。本发明利用外气加热来使吸附剂再生,可以显著降低干燥空气的消耗量,并且再生时间可以缩短30%~50%。

著录项

  • 公开/公告号CN110935291A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-03-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;

    申请/专利号CN201811119016.9

  • 发明设计人 不公告发明人;

    申请日2018-09-25

  • 分类号

  • 代理机构北京律智知识产权代理有限公司;

  • 代理人李华

  • 地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

  • 入库时间 2023-12-17 06:13:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):B01D53/26 申请日:20180925

    实质审查的生效

  • 2020-03-31

    公开

    公开

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