监视半导体制造过程的非暂时性计算机可读介质和方法

摘要

一种用于监视半导体制造过程的非暂时性计算机可读介质包括具有人工神经网络的图像转换模型。所述图像转换模型当被执行时使处理器接收半导体晶片的第一图像和第二图像。通过以下操作来训练所述人工神经网络：输入表示所述第一图像和所述第二图像的数据集，生成所述半导体晶片的转换图像，以及校准所述人工神经网络的权重和偏置以使所述转换图像与所述第二图像相匹配。基于所述人工神经网络的经校准的权重和偏置来生成所述半导体晶片的第三图像。带有经训练的人工神经网络的图像转换模型可以被发送给另一设备以用于低分辨率图像的图像转换。